接受各类高真空、超高真空定制腔体的设计、制造、测试和总装,用于PLD、MBE和PVD等功能薄膜沉积系统,也用于真空计量检测系统,公司具有超高真空系统制备的全套技术整合能力,接受-8数量级以下的标准产品定制。