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真空泵的分类
2025-09-19
真空泵是真空系统的核心设备,种类繁多,应用广泛。其工作原理是通过机械、物理或化学方法抽除容器内气体,形成低于大气压的真空环境,为工艺制作和科学实验提供条件。真空泵分为气体输送泵和气体吸附泵两大类。气体输送泵包括容积式泵(如旋片泵、螺杆泵)和动量传递泵(如涡轮分子泵),可连续使用;气体吸附泵(如吸附泵、非蒸散型吸气剂)则需定期再生。
旋片泵为油密封容积泵,适用于低中真空范围,通过转子与叶片形成可变容积腔实现抽气。隔膜泵为干式泵,通过曲轴驱动隔膜运动,无油污染,适合低抽速场景。螺杆泵采用无接触反向旋转的螺杆转子,结构紧凑,适用于中高抽速需求,近年逐渐替代油润滑旋片泵。罗茨泵通过同步旋转的8字形转子输送气体,高转速且运行安静,适用于清洁气体环境。侧槽泵通过涡旋流产生压差,全干式工作,适合高真空清洁应用。涡轮分子泵属于动量传递泵,多级叶片结构可实现高压缩比,生成清洁高真空至超高真空范围,广泛用于科研领域。
各类真空泵根据结构和工作原理差异,适用于不同压力范围、抽速要求和介质条件,共同支撑工业与科学研究中的真空需求。