真空阀门在真空系统中承担着核心控制功能，主要体现在以下三方面：

气流控制与系统切换

真空阀门通过改变气流方向、调节流量大小，实现不同真空泵或设备间的切换。例如，在半导体制造设备中，前级真空阀可精准控制前级管路的气体通量，并与分子泵组协同运作，确保真空腔体的稳定运行。 ‌

真空度调节

阀门开启角度可调节气流量，从而控制容器内的真空值。例如，通过调整阀门1的单流阀开启角度，可定量控制流经管道的气体量，实现定量充气或放气功能。 ‌

隔离与安全保障

在多级真空系统中，阀门承担隔离作用。例如，关闭阀2和阀4时，可单独对扩散泵或机械泵进行维护，避免不同压力区域的气体互窜，保障系统安全。